产品介绍   

Delta薄膜厚度测量系统利用薄膜干涉光学原理，对薄膜进行厚度测量及分析。用从深紫外到近红外可选配的宽光谱光源照射薄膜表面，探头同位接收反射光线。Delta根据反射回来的干涉光，用反复校准的算法快速反演计算出薄膜的厚度。测量范围1nm-3mm，可同时完成多层膜厚的测试。对于100nm以上的薄膜，还可以测量n和k值。

产品特点

快速、准确、无损、灵活、易用、性价比高

技术原理

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应用领域

半导体（SiO2/SiNx、光刻胶、MEMS，SOI等）

LCD/TFT/PDP(液晶盒厚、聚亚酰胺ITO等)

LED (SiO2、光刻胶ITO等）

触摸屏(ITO AR Coating反射/穿透率测试等)

汽车(防雾层、Hard Coating DLC等）

医学（聚对二甲苯涂层球囊/导尿管壁厚药膜等）

技术参数




型号	Delta-VIS	Delta-DUV	Delta-NIR
波长范围	380-1050nm	190-1100nm	900-1700nm
厚度范围	50nm-40um	1nm-30um	10um-3mm
准确度1	2nm	1nm	10nm
精度	0.2nm	0.2nm	3nm
入射角	90°	90°	90°
样品材料	透明或半透明	透明或半透明	透明或半透明
测量模式	反射/透射	反射/透射	反射/透射
光斑尺寸2	2mm	2mm	2mm
是否能在线	是	是	是
扫描选择	XY可选	XY可选	XY可选




注：1.取决于材料0.4%或2nm之间取较大者。

       2.可选微光斑附件。